高溫老化試驗箱又叫高溫箱、老化箱、高溫烤箱、高溫烘箱、熱老化試驗箱、高溫箱用于各類電子產品及橡膠塑料等產品的熱老化試驗檢測，是航空、汽車、家電、科研等領域必備的測試設備，用于測試和確定電工、電子及其他產品及材料進行高溫試驗的溫度環(huán)境變化后的參數(shù)及性能...

1、本文適用范圍

本規(guī)范適用于集成電路高溫動態(tài)老化系統(tǒng)的校準。

2、本文引用文獻

GB/T 5170.1- -1995 電工電子產品環(huán)境試驗設備基本參數(shù)檢定方法總則

GB/T 5170.2-1996電工電子產品環(huán)境試驗設備基本參數(shù)檢定方法溫度試驗設備

注:使用本規(guī)范時，應注意使用上述引用文獻的現(xiàn)行有效版本。

3、概述

集成電路高溫動態(tài)老化系統(tǒng)用于對集成電路進行高溫動態(tài)老化試驗，主要由控制機、高溫試驗箱、器件電源單元、信號驅動單元等部分組成，系統(tǒng)結構示意圖見圖1所示。

老化系統(tǒng)中的高溫老化試驗箱用于提供集成電路高溫動態(tài)老化的高溫環(huán)境。電源單元即老化電源，采用二級電源方式，其中一級老化電源用于提供足夠功率的正負一次電壓,二級老化電源以一級電源作為輸人，參照集成電路器件老化規(guī)范要求為老化器件提供電源。老化系統(tǒng)通常分為3~4個工作區(qū)，由4個獨立的程控電源為整個系統(tǒng)提供器件電源和信號電源。信號驅動單元是集成電路動態(tài)老化的核心子系統(tǒng)，其主要功能是通過主控計算機的編程，產生待老化芯片所需的各種模擬、數(shù)字和三態(tài)驅動信號波形，以滿足集成電路器件的老化需求。

4、計量特性

（1）溫度性能

（2）溫度參數(shù)

溫度范圍: 20C~ 150℃;

溫度偏差: +3℃;

溫度均勻度: +2℃;

溫度波動度: +0.5℃。（3）數(shù)字驅動信號特性參數(shù)

數(shù)字信號脈沖寬度：脈沖寬度范圍:≥100ns最大允許誤差:土10%

數(shù)字信號幅度：電壓范圍: .100mV~20V 最大允許誤差: 士1%

（5）模擬驅動信號特性參數(shù)

模擬信號頻率：頻率范圍: 1Hz~ 32kHz最大允許誤差: 土3%

模擬信號幅度：電壓范圍: 100mV~20V最大 允許誤差:土3% .

（6）老化板器件電源參數(shù)

電壓：電壓范圍: 100mV~20V最大允許誤差: +1%

5、校準條件

（1）環(huán)境條件

環(huán)境溫度: (15~35)C

環(huán)境相對濕度: ≤80%

交流電源電壓: (220+11)V; (50士 1)Hz

周圍無強電磁場干擾及無影響校準系統(tǒng)正常工作的機械振動。

（2）校準用計量標準、 儀表設備

鉑電阻溫度計測量范圍:- 80℃ ~200℃最大允許誤差: +0.2℃

溫度測試記錄儀

RTD測量范圍: - 200℃ ~600℃最大允許誤差: +0.08℃

（3）數(shù)字電壓表

直流電壓測量范圍:士(100mV~50V)最大允許誤差: 士0.1%

交流電壓測量范圍: (100mV~50V), 32kHz最大允許誤差: +0.1%

（4）數(shù)字示波器

帶寬: 100MHz( - 3dB)

幅度測量范圍: 100mV~ 20V最大允許誤差: 土3%

時間間隔測量范圍: 10ns~ 10s最大允許誤差: 土3%

6、校準項目及校準方法

（1）設備工作正常性檢查

集成電路高溫動態(tài)老化系統(tǒng)應能正常工作，將檢查結果填人附錄A“工作正常性檢查”項中。

（2）高溫老化試驗箱校準

選擇校準標稱點：應選擇設備使用范圍的下限、上限及中間點，也可根據(jù)用戶需要選擇實際使用的溫度點，推薦校準: 85℃和125℃兩個溫度點。

A、數(shù)據(jù)采集器通電， 預熱30min以上。

B、選擇校準點位置，布放溫度傳感器

溫度校準點分布在設備工作室內的三個校準面上，簡稱上、中、下三層，中層為通過工作室?guī)缀沃行牡摹⑵叫杏诘酌娴男使ぷ髅?校準點與工作室內壁的距離為各邊長的1/10，遇風道時，此距離可加大，但不能大于500mm。如果設備帶有樣品架或樣品車時，下層校準點可布放在樣品架或樣品車上方10mm處。

當設備容積小于2立方米時，溫度校準點為9個，0點位于中層幾何中心，如圖2所示。其中，溫度校準點用A, B, C等字母表示。

C、高溫老化試驗箱的校準

按規(guī)定布放溫度傳感器，并將負載裝人工作空間，將高溫試驗箱的溫度控制器設定到所要求的標稱溫度，使試驗設備升溫或降溫至設定標稱溫度。在達到設備自身穩(wěn)定狀態(tài)后開始讀數(shù)，每2min測試所有校準點的溫度一次，在30min內共測試15次。